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壓電力學(xué)探測器 l 彎曲導(dǎo)軌可實現(xiàn)最小傾斜度的線性運動 l 行程范圍為1 mm l 力至100 n l 剛性和無側(cè)隙結(jié)構(gòu) l 可提供集成位置傳感器 l 壓電執(zhí)行器的使用壽命 l 理想的OEM致動器，用于自適應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)中的力生成，用于納米壓印工藝或機床 l 具有更長行程范圍、更短響應(yīng)時間或無磁性的定制版本
